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공용장비센터 연구장비 사용 요율
| 구분 | Equipment | 단위 | 장비요율 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 분석 | 집속이온빔장비 (FIB-SEM) |
시간당 | 200,000 | Miling, Deposition |
| 시간당 | 300,000 | TEM Specimen Preparation (Si-Base) | ||
| 시간당 | 200,000 | 회로수정 | ||
| 시간당 | 60,000 | SEM imaging(EDS 포함) | ||
| 400MHz 핵자기공명 분광분석기 (400MHz FT-NMR) |
시료당 | 20,000 | 1H (기본30분) | |
| 시료당 | 32,000 | 13C, 2H, 31P 등 (기본 1시간) | ||
| 시료당 | 50,000 | 2D 및 1D Advanced exp. (기본 1시간) | ||
| 시료당 | 50,000 | 난용성 샘플(기본1시간) | ||
| - 전처리 : 10,000원 (특별용액인 경우 실비청구) - 4 시간 이상 초과시간에 한해 50% 할인 |
||||
| X선 회절분석기 (X-ray Diffractometer) |
시료당 | 50,000 | ||
| 시료당 | 50,000 | 추가비용 박막두께(XRR),SAXS, 리트벨트 정량분석 | ||
| 주사탐침현미경 (Atomic Force Microscope) |
시간당 | 50,000 | Non contact mode | |
| 가공 | 355nm, 20W급 레이저가공시스템 |
건 | 80,000 | Hole 가공, Glass Patterning |
| 클린룸 | 진공고온증착장비 (LPCVD) |
lot/hr | 400,000 | Oxide 공정 |
| lot/hr | 500,000 | Nitride 공정 | ||
클린룸 시설 및 연구장비 사용 요율
| 구분 | 기간 |
대학교 |
연구소/기업체 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 입실표 | 1개월 | 100,000 | 200,000 | |
| 1일 | 10,000 | 20,000 |
| 구분 | Equipment | 단위 | 장비요율 | 비고 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 공정 교육 |
클린룸 Turn-key 사용 | /hr | - | 200,000 | 재료비별도, 담당자 문의 |
| /일 | - | 1,000,000 | |||
| 장비 사용 |
Wet-Texturing | /lot | 200,000 | 250,000 | Chemical 재료비 사전 협의, Max 24장/lot |
| /hr | 100,000 | 125,000 | |||
| Diffusion Furnace (POCI3) | /lot | 200,000 | 250,000 | Max 24장/lot | |
| /hr | 100,000 | 125,000 | |||
| HWCVD | /wafer | 100,000 | 125,000 | 재료비포함 | |
| PECVD | /wafer | 100,000 | 125,000 | 50,000원/기본료, 10,000/1000Å(기본5,000Å) |
|
| PVD (Sputter) | /wafer | 100,000 | 125,000 | 50,000원/기본료, 10,000/1000Å(기본2,000Å) |
|
| Screen Printer (Al) | /wafer | 40,000 | 50,000 | Max 24장/hr, Paste 및 Mesh 별도 |
|
| /hr | 200,000 | 250,000 | |||
| Screen Printer (Ag) | /wafer | 40,000 | 50,000 | Max 24장/hr, Paste 및 Mesh 별도 |
|
| /hr | 200,000 | 250,000 | |||
| Dryer (Al) | /hr | 200,000 | 250,000 | Max 24장/hr, 재료비포함 | |
| Dryer (Ag) | /hr | 200,000 | 250,000 | Max 24장/hr, 재료비포함 | |
| Firing Furnace | /hr | 200,000 | 250,000 | Max 24장/hr, 재료비포함 | |
| Laser Scribe | /hr | 200,000 | 250,000 | Max 24장/hr, 재료비포함 | |
| I-V Measurement | /hr | 200,000 | 250,000 | 재료비포함 | |
| Quantum Efficiency | /hr | 200,000 | 250,000 | 재료비포함 | |
| SEM | /hr | 200,000 | 250,000 | 재료비포함 | |
| UV/VIS/NIR Spectrophotometer | /hr | 100,000 | 125,000 | 재료비포함 | |
| Thickness Measurement | /30min | 60,000 | 75,000 | 재료비포함 | |
| 4-Point Probe | /30min | 60,000 | 75,000 | 재료비포함 | |
주의사항
- 1. 입실자는 클린룸 담당자 승인후 입실하며 사용대장을 작성한다.
- 2 .Screen Printer Paste는 사용자가 준비하는 것을 권장하며 불가할 시 별도의 Paste charge가 부과됩니다.
((Ag)￦10,000/Wafer,(Al)￦1,000/Wafer)/Mesh 제판 사전협의. - 3. 요율표의 시간은 장비점유시간(log-in/out)입니다. 장비문제로 인한 사용장해에 따른 시간은 결과보고서에 반드시
사유를 작성해 주시면 확인 후 할인 적용해 드립니다. - 4 .Wafer 및 piece는 공정요율을 동일하게 적용합니다.(일부장비 제외)
- 5. 공정개발에 따른 공정수행은 Fab supervisor승인 시 별도 할인율을 적용합니다.
- 6. 학교/연구소/기업체장기이용시 Fab supervisor승인 시 별도 할인율을 적용합니다.
- 7. 수수료 산출근거 (인건비+감가상각비+전기비+부대비용)
지역혁신센터(RIC) 연구장비 사용요율
| 구분 | Equipment | 단위 | 장비요율 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 분석 분야 |
전계방출형주사전자현미경 (Field Emission Scanning electron Microscope) |
시간당 | 70,000 | 오븐건조비 : 5,000원/건 마운팅&폴리싱: 50,000원/건 마이크로토밍 : 50,000원/건 |
| X선 형광분석기 (X-ray Fluorescence Spectrometer) |
시료당 | 25,000 | ||
| 유도결합플라즈마 분광분석기 (Inductively coupled plasma optical emissiosn spectormeter) |
원소당 | 10,000 | 전처리에 따라 비용 추가 | |
| 유도결합플라즈마 질량분석기 (Inductively coupled plasma mass spectormeter) |
원소당 | 10,000 | 전처리에 따라 비용 추가 | |
| 열전도도측정기 (termal conductivity) |
시간당 | 50,000 | 백금 코팅 전처리 : 10,000원 추가 | |
| 비열 및 열용량측정기 (Specific Heat & Capacity Analyzer) |
시료당 | 50,000 | 열전도도 측정을 위한 비열 분석 전용 | |
| X선 회절분석기 (X-ray Diffraction) |
시료당 | 50,000 | 박막 GID,XRR 측정 : 100,000원/건 유기물 SAXS 측정 : 100,000원/건 |
|
| 탄소/유황분석기 (Carbon/Sulfur Determinator) |
시료당 | 50,000 | ||
| 원소분석기 (Elemental Determinator) |
시료당 | 50,000 | ||
| 열중량분석기 (Thermogravimetric Analyzer) |
시료당 | 50,000 | ||
| 가공 분야 |
3차원 형상측정시스템 (3D Scanning System) |
|||
| 고속 (3축)가공기 (3-Axis High Speed Milling Machine) |
시간당 | 35,000 | ||
| 고속 (5축)가공기 (5-Axis High Speed Milling Machine) |
시간당 | 60,000 | ||
| NC 방전기 | 시간당 | 35,000 | ||
| 와이어컷팅머신 (Wire Cutting Machine) |
시간당 | 28,000 | ||
| 레이저큐징 (Laser Cusing) |
시간당 | 65,000 | ||
| 초정밀 홀가공/면성형시스템 (Ultra-precision system for hole cutting & surface molding) |
시간당 | 80,000 | ||
| 유니그래픽스 | 시간당 | 30,000 | ||
| 파워밀 | 시간당 | 30,000 | ||
| 몰드플로우 | 시간당 | 28,000 | ||
| 캠툴 | 시간당 | 30,000 |
