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공용장비 및 사용안내

홈 > 기업지원 > 공용장비센터 > 공용장비 및 사용안내

장비명 : 전계방출형 주사전자현미경 (Field Emission Scanning Eletron Microscope)

장비이미지
내용보기
단축명 FE-SEM
모델명 JSM-7500F
제작사 JEOL Ltd.
도입년도 2008
장비분류 분석
설치장소 제2캠퍼스 실학관 B110호(지역혁신센터)
담당자 권수경
연락처 041-521-8135

내용보기
장비용도
▪미세구조 분석:미세구조 관찰을 통한 불량품 분석, 미세이물질 형상파악
▪성분분석:국소부위 및 넓은 부위의 EDS를 통한 성분분석
Specifications
▪Resolution : 1.0nm(15kV), 1.4nm(1kV)
▪Magnification : 25~500,000배
▪Accelerationg Voltage : 0.5~30kV
▪Movements : X:70nm, Y:50nm, Z:1.5mm~25mm
Tilt range: -5º~70º, Rotation: 360º
▪Probe Current : 1X10-3 ~ 2X10-9 A
▪Image modes : SEI(Secondary Electron Image)
▪Max Specimen : Size 32mm diamater, 25mm height
장비 요율 및 사용 안내
▪시간당 70,000원

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